1121_半導體設備概論(四子三選)
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课程介绍

课程安排

  • Lecture 0_introduction
  • Lecture 1_materials
  • Lecture 2_MOSFET
  • Lecture 3-1_clean room
  • Lecture 3-2_wafer production
  • Lecture 4_PVD
  • Lecture 5_CVD
  • Lecture 6_Lithography
  • Lecture 7_Etch
  • Lecture 8_SEM
  • Lecture 3-3_wafer transfer
教师 / 

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