1121_半導體設備概論(四子三選)
上课期间:从 即日起 到 无限期
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课程介绍
课程安排
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Lecture 0_introduction
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Lecture 1_materials
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Lecture 2_MOSFET
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Lecture 3-1_clean room
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Lecture 3-2_wafer production
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Lecture 4_PVD
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Lecture 5_CVD
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Lecture 6_Lithography
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Lecture 7_Etch
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Lecture 8_SEM
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Lecture 3-3_wafer transfer
教师 /