1121_半導體設備概論(電資共同專選)
上课期间：从 即日起 到 无限期
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课程介绍
课程安排
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Lecture 0_introduction
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Lecture 1_materials
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Lecture 2_devices
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Lecture 3_clean room
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Lecture 4_wafer
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Lecture 5_PVD
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Lecture 6_CVD
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Lecture 7_Litho
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Lecture 8_Etch
教师 /
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