1122_半導體設備概論(四子三選)
上课期间:从 即日起 到 无限期
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课程介绍

课程安排

  • Lecture_0_introduction
  • Lecture_1_materials
  • Lecture_2_MOSFET device
  • Lecture_3_wafer transfer
  • Lecture_4_clean room
  • Lecture_5_wafer production
  • Lecture_6_PVD
  • Lecture_7_CVD
  • Lecture_8_lithography
  • Lecture_9_etch
  • Lecture_10_vacuum
  • Lecture_11_SEM
  • Lecture_12_metallization
教师 / 
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