1131_半導體設備概論(四子三選)
上課期間:從 即日起 到 無限期
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課程介紹

課程安排

  • 0-introduction
  • 1-materials
  • 2-devices
  • 2.5-MOSFET
  • 3-wafer transfer
  • 4-clean room
  • 5_wafer production
  • 6_PVD
  • 7_CVD
  • 8_lithography
  • 9_etch
教師 / 

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